P01300 - SEMI P13 - Determination of Sodium and Potassium in Positive Photoresists by Atomic Absorption Spectroscopy Revision:SEMI P13-91 (Reapproved 1104) - Inactive 本文書で規定されている要求条件を満たすポリマー材料および配管システムの部品は，¶ 1

本文書で規定されている要求条件を満たすポリマー材料および配管システムの部品は，¶　1

may be used for process control

Flat Panel Display）（FPD）用ガラス基板を，FPD製造工程で使用されている試薬を用いて定量的に評価する。

orgで，そして2007年11月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1999年2月発行，前版は2005年11月に発行された。

SEMI M1-1296 (technical revision)

P01300 - SEMI P13 - Determination of Sodium and Potassium in Positive Photoresists by Atomic Absorption Spectroscopy Revision:SEMI P13-91 (Reapproved 1104) - Inactive 本文書で規定されている要求条件を満たすポリマー材料および配管システムの部品は，¶ 1This standard was technically approved by the Global Micropatterning Committee and is the direct responsibility of the North American Micropatterning Committee. Current edition approved by the North American Regional Standards Committee on July 11, 2004. Initially available at www. semi. org September 2004; to be published November 2004. Originally published in 1991. NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the