C00605 - SEMI C6.5 - パイプラインガスとして授受されるグレード10/0.2窒素（N2）およびアルゴン（Ar）に対するパーティクル仕様 StdPbc-0212 FPDガラス基板は，下記の4項目に限定される。 アレイ基板に用いられるガラス基板のうち，まだ，成膜が施されていないベアーガラス基板

FPDガラス基板は，下記の4項目に限定される。 アレイ基板に用いられるガラス基板のうち，まだ，成膜が施されていないベアーガラス基板

2 dichloroethylene used in the semiconductor industry

previously published June 2009

This Specification describes requisite test structures

SEMI C96-0618 (first published)

C00605 - SEMI C6.5 - パイプラインガスとして授受されるグレード10/0.2窒素（N2）およびアルゴン（Ar）に対するパーティクル仕様 StdPbc-0212 FPDガラス基板は，下記の4項目に限定される。 アレイ基板に用いられるガラス基板のうち，まだ，成膜が施されていないベアーガラス基板NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Gases Global Technical Committee2011912global Audits and Reviews Subcommittee201111www. semiviews. org www. semi. org1990200211 NOTICE: This Document is no longer supported by the global technical committee. It has been replaced by